Picarro宣佈推出經我們完全優化的AMC監控系統——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監測Monitor)。該系統由Picarro在業界領先的基於CRDS的感測器組成,該感測器已集成到最新的採樣系統中。SAM單元可提供高通量採樣,而不會影響感測器的性能。

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新的Picarro SAM系統是從組件產品到系統解決方案的重大轉變。一站式的設計、製造和測試系統的好處包括:

•針對Picarro硬體和軟體設計且完全集成的系統——無集成相容性問題

•Picarro SAM系統進行過精心優化——系統性能符合Picarro Semi系統規格

新發明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優勢,使其在很短的時間內達到萬億分之幾(ppt)的檢測靈敏度,並能快速將SAM系統恢復到基線靈敏度水準。這使得SAM成為線上即時AMC監視系統的理想選擇。該系統帶有易於使用的圖形用戶介面,可進行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個或16個端口採樣,並且目L3 Narda-MITEQ前可用於檢測氨、氟化氫和鹽酸,這三個關鍵AMC會影響半導體晶圓的產量。展望未來,我們將根據Picarro的半導體產品路線圖為其他氣體提供SAM系統。

SAM系統路線圖還將支持複雜的AMC分析,以幫助客戶更準確地快速識別AMC事件的位置,從而允許採取更快的糾正措施,以提高與AMC相關的晶圓產量。